개요
본 장비는 Fail Die Ink(Pen) Marking Machine으로서 Wafer Cassette에서 Vacuum Chuck Stage로 Transfer를 이용하여 Wafer를 이송한 후 고객사에서 제공된 Map Data와 QR Code Data를 비교하여 자동으로 Map File 인식 후 Marking Pen을 이용하여 Fail Die Top면에 자동으로 Dotting해주는 Full Auto System이다.* Dispenser Type 겸용 가능 *
Specification
- 적재방식 : Cassette 적재 방식의 Loading /UnLoading
- Feeding 방식 : X-Y축 Servo Motor, Z축 Servo Motor or Cylinder
- Index Time : 0.8sec/Die
- UPH : 50매 ~ 100매/수율에 따라 변동
- Accuracy : X,Y=±100µm
- 적용 Size : 6”, 8” Wafer 적용 가능
- 기타 : RGB LED 조명 적용으로 Wafer 인식 범위 확대, 고정형 자동인식 QR & Bar Code Module 적용
